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第150章 光刻工厂引轰动打破西方垄断第2更（第1页）

6月1日。

滨海电视台外景记者汪冰冰，带着摄制团队，来到滨海芯片有限公司。

公司总经理吴雪，随同介绍。

汪冰冰询问道：“吴总，你们公司的稳态微聚束（ssb）极紫外光源设施，就是你在国际半导体论坛上，说的光刻机工厂吗？”

“没错！”

吴雪笑着点点头。

她带着汪冰冰等人，来到一处环形建筑前。

吴雪耐心介绍道：“你们眼前的环形建筑，就是稳态微聚束（ssb）极紫外光源设施，项目总建筑面积为125万平方米，周长148米。

它主要包括直线加速器、波荡器、光束线、增强器、电子储存环、实验站等等。

位于源头的电子束，产生电子后，直线加速到接近光速，在波荡器里偏转发出sr。

电子束团震荡过后，变成微聚束，长度缩的很短，更加聚集，还有相干性。

通过增强器，功率指数增加至上限。

电子束团进入电子储存环后，引入激光调制系统，加上扭摆磁铁，横向纵向下手调制，巧妙地把电子束更加完美地聚集在一起。

不断绕圈之后，强光呈现出微态。

其特性，简单来说，就是微聚束的相干辐射发强光+存储环高重频。

稳态微聚束（ssb）极紫外光源设施，发出的光源，相对好控制。

需要发出强光时，就让微聚束发出相干辐射，导出euv光源进行光刻……”

汪冰冰一行人，边参观边听介绍。

当众人来到增强器隧道后。

他们一眼望去，能看到里面排布着许多五颜六色，形状各异的“大家伙”。

吴雪的声音，不断响起。

“你们看到的大家伙，其实是磁铁系统，主要控制着电子的方向。”

“红色长方体状磁铁是二极铁，可以让电子‘转弯’。”

“蓝色的磁铁是四极铁，可以把‘想往外跑’的电子拉回来。”

“整个增强器区域元件数量多，真空连接段众多，排列紧凑。”

“其中，弧区包含磁铁、真空和束测设备等132个预准直单元以及128块二极磁铁，直线节包括注入引出设备、高频、磁铁、真空和束测设备等……”

听到一系列的介绍。

汪冰冰等人，都不明觉厉的点点头。

她询问道：“吴总，目前科学界探索的euv光刻机，主要有四种，分别是ssb、lpp、sr、srf-fel。

荷国阿斯麦尔公司，采用的是lpp模式，最终产生135n的euv光源，做出了euv光刻机。

ssb模式相比lpp更进一步，被称为未来euv光源，能够产生1n以下电子束。”

“是的！”

吴雪点头道：“阿斯麦尔公司，为了出货到各地的晶圆厂，把光刻机做成小型化，而我们直接打造大型的光刻工厂。

我们建设的‘环形建筑’，直接让光‘跑’起来。

其产生的光源，通过不断的筛选，可以得到28n、14n、7n、5n、4n、3n、2n、1n等不同规格的光束。

目前，我们的光刻工厂，已经能达到稳态的高功率光源，可以将电子加速到接近光速，产生产生波长短、功率大的光源，来提升芯片的制程工艺。”

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