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苏晨给这些科研人员讲解完之后。
他开始安排工作。
“你们三个,负责光刻机的透镜编排,需要光学方面的理论,我看过你们的资料,曾经修过光学的课程。”
“是,苏工!”
光刻机的光线不是直射来雕刻,而是需要多个镜片的折射,一边弱化一边加强。
当极紫外光控制到最合适的波段时,在雕刻到晶圆!
这一步至关重要。
“你们几位负责液态金属锡的滴落路线计算,一定要确保光脉冲可以集中锡滴!”
“是,苏工!”
……
他和杨平一起安排了分工之后,就开始了正式工作。
很快,光刻机的内部硬件已经组装完毕。
又过了几天,光刻机已经成型。
他们开始了第一次芯片制造的测试。
“第1次芯片生产实验,启动!”
一声令下,晶圆被机械臂吸起来进入了机器。
然而还没等大家核算数据,机器突然黑屏。
“报告,液态金属锡未被集中,滴落面板导致短路!”
实验显然以失败告终!
大家并没有气馁。
因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的!
很快,第二次实验开始。
“报告,光刻波长控制异常,导致晶圆损毁!”
第三次。
“报告,芯片良率太差!”
第四次……
第五次……
经过很多次失败之后,日子平静了下来,实验变成了常态。
当然一次次的失败,距离成功也愈来愈近!
几天后。
研究院的工作人员早早的前来班工作。
他们几个是半导体专业的高级工程师。
正式因为极紫外光刻机的项目,都聚集到了这里。
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